| Identifikační kód |
RIV/68378271:_____/19:00512093 |
| Název v anglickém jazyce |
Floating harmonic probe for diagnostic of pulsed discharges |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Vědní obor |
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics) |
| Rok uplatnění |
2019 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
3 |
| Počet tvůrců celkem |
6 |
| Počet domácích tvůrců |
3 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Martin Čada (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9254927, orcid: 0000-0001-6826-983X, researcherid: C-9453-2009)
Zdeněk Hubička (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2296268, orcid: 0000-0002-4051-057X, researcherid: H-1563-2014)
Michal Zanáška (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 4352009)
P. Kudrna (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
M. Tichý (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
Z. Turek (státní příslušnost: CZ - Česká republika) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
The floating harmonic probe (FHP) is a relatively new plasma diagnostic method for electron temperature and positive ion density measurement, which can be used in conditions when insulating films are being deposited on the probe and, consequently, the classical Langmuir probe method fails. Recently an extension of this method called PDHAM – phase delay harmonic analysis method - was proposed that is applicable also to pulsed discharges. In this contribution, we study the possible limitations of this new method and present the comparison of the plasma density and the electron temperature determined by PDHAM with that obtained by the time-resolved Langmuir probe in a pulsed planar magnetron discharge. In addition, we present the double probe technique for applications in pulsed plasmas and we compare its results with those of a single FHP. The experiments were performed in argon at pressures several Pa in a non-reactive regime, when no insulating film was deposited on the probes.n |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
electron-density;floating probe;sputtering;plasma diagnostics;pulse plasma |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.10.039 |
| DOI výsledku |
10.1016/j.surfcoat.2018.10.039 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |