Zpět na hledání
| Identifikační kód | RIV/61389005:_____/20:00534005 |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce | Multilayered Cu-Ti deposition on silicon substrates for chemiresistor applications |
| Druh | J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh | J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk | eng - angličtina |
| Vědní obor | 10402 - Inorganic and nuclear chemistry |
| Rok uplatnění | 2020 |
| Kód důvěrnosti údajů | S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku | 5 |
| Počet tvůrců celkem | 8 |
| Počet domácích tvůrců | 5 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců | Antonino Cannavó (státní příslušnost: IT - Italská republika, domácí tvůrce: A, orcid: 0000-0003-0975-9630) Giovanni Ceccio (státní příslušnost: IT - Italská republika, domácí tvůrce: A, orcid: 0000-0001-7959-8815, researcherid: AAJ-3399-2020) Pavel Horák (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7569033, orcid: 0000-0001-6722-9641, researcherid: G-9862-2014) Alfio Torrisi (státní příslušnost: IT - Italská republika, domácí tvůrce: A, orcid: 0000-0003-2404-5062, researcherid: G-6649-2019) Jiří Vacík (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 1652834, orcid: 0000-0002-1875-4914, researcherid: G-9263-2014) Jan Grym (státní příslušnost: CZ - Česká republika) Jan Vaniš (státní příslušnost: CZ - Česká republika, researcherid: H-2221-2014) Roman Yatskiv (státní příslušnost: UA - Ukrajina, researcherid: F-3937-2014) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce | On the perspective to develop CuO-TiO2MOS, multilayered Cu and Ti thin layers were alternatively deposited on silicon wafers using 25 keV Ar + ion beam sputtering and, subsequently, oxidized by thermal annealing in air at 400 degrees C for 24 h. The deposited films have variable ratios of the Cu and Ti % at. One of the main goal is to obtain such multilayers avoiding the presence of Cu-Ti-O compounds. The samples were characterized in terms of composition (by RBS and SIMS analyses) and morphology (by AFM and SEM investigations). In particular, SIMS maps allows to observe the spatial distribution and thickness of each phase of the Cu/Ti multilayers, and further to observe Cu diffusion and mixing with Ti, as well as phase separation of CuO and TiO(2)in the samples. The reasons of this effect represent an open issue that has to investigated, in order to improve the MOS fabrication. |
| Klíčová slova oddělená středníkem | chemiresistor;Cu-Ti;intermixing layers;SIMS analysis;thermal annealing |
| Stránka www, na které se nachází výsledek | https://doi.org/10.1080/10426507.2020.1804166 |
| DOI výsledku | 10.1080/10426507.2020.1804166 |
| Odkaz na údaje z výzkumu | - |
Údaje o výsledku v závislosti na druhu výsledku
| Název periodika | Phosphorus, Sulfur and Silicon and the Related Elements |
|---|---|
| ISSN | 1042-6507 |
| e-ISSN | - |
| Svazek periodika | 195 |
| Číslo periodika v rámci uvedeného svazku | 11 |
| Stát vydavatele periodika | GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska |
| Počet stran výsledku | 4 |
| Strana od-do | 932-935 |
| Kód UT WoS článku podle Web of Science | 000572478600011 |
| EID výsledku v databázi Scopus | 2-s2.0-85091489645 |
| Způsob publikování výsledku | C - Omezený přístup (Restricted Access) |
| Předpokládaný termín zveřejnění plného textu výsledku | - |
Ostatní informace o výsledku
| Předkladatel | Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i. |
|---|---|
| Dodavatel | MSM - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy (MŠMT) |
| Rok sběru | 2021 |
| Specifikace | RIV/61389005:_____/20:00534005!RIV21-MSM-61389005 |
| Datum poslední aktualizace výsledku | 05.05.2021 |
| Kontrolní číslo | 192262448 ( v1.0 ) |
Informace o dalších výskytech výsledku dodaného stejným předkladatelem
| Dodáno AV ČR v roce 2021 | RIV/61389005:_____/20:00534005 v dodávce dat RIV21-AV0-61389005/01:1 |
|---|---|
| Dodáno GA ČR v roce 2021 | RIV/61389005:_____/20:00534005 v dodávce dat RIV21-GA0-61389005/01:1 |
Informace o dalších výskytech výsledku dodaného ostatními předkladateli
| Dodáno AV ČR v roce 2021 | RIV/67985882:_____/20:00534005 v dodávce dat RIV21-AV0-67985882/01:1 předkladatelem Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i. |
|---|---|
| Dodáno GA ČR v roce 2021 | RIV/67985882:_____/20:00534005 v dodávce dat RIV21-GA0-67985882/01:1 předkladatelem Ústav fotoniky a elektroniky AV ČR, v. v. i. |
Odkazy na výzkumné aktivity, při jejichž řešení výsledek vznikl
| Projekt podporovaný MŠMT v programu LM | LM2015056 - Centrum urychlovačů a jaderných analytických metod (2016 - 2017) |
|---|