| Identifikační kód |
RIV/61389005:_____/16:00460790 |
| Název v anglickém jazyce |
Ion Micro Beam, promising methods for interdisciplinary research |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
- |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Obor - skupina |
B - Fyzika a matematika |
| Obor |
BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače |
| Rok uplatnění |
2016 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
4 |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
An increasing attractiveness of top-down nanotechnology using nuclear microprobe techniques have been gathered to the micro and nano patterning process for polymers. This paper presents the research activity on innovative promising techniques able to produce three-dimensional (3D) micro-structures in polymeric resists as well as to obtain images of fabricated nanostructures at Tandetron Laboratory (LT) of the Nuclear Physics Institute in Rez (Czech Republic). The Proton Beam Writing (PBW) technique was used to irradiate PMMA resist with energy of MeVs protons. The fabricated patterns were developed in chemical bath using different etching rates. An overview of micro-scale structures have been fabricated selecting the beam, the energy, the fluence and the exposition time. The produced structures were investigated by different analysis techniques among which Scanning Transmission Ion Microscopy (STIM). The characterizations of the fabricated microtunnels are presented and discussed. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
accelerator application;accelerator subsystems and technolgies;ion sources |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
- |
| DOI výsledku |
https://doi.org/10.1088/1748-0221/11/05/C05001 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |