| Identifikační kód |
RIV/60461373:22310/16:43902158 |
| Název v anglickém jazyce |
Ion Micro Beam, promising methods for interdisciplinary research |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
- |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Obor - skupina |
B - Fyzika a matematika |
| Obor |
BH - Optika, masery a lasery |
| Rok uplatnění |
2016 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
4 |
| Počet tvůrců celkem |
4 |
| Počet domácích tvůrců |
1 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Blanka Švecová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9919988)
M. Cutroneo (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
V. Havranek (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
L. Torrisi (státní příslušnost: CZ - Česká republika) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
An increasing attractiveness of top-down nanotechnology using nuclear microprobe techniques have been gathered to the micro and nano patterning process for polymers. This paper presents the research activity on innovative promising techniques able to produce three-dimensional (3D) micro-structures in polymeric resists as well as to obtain images of fabricated nanostructures at Tandetron Laboratory (LT) of the Nuclear Physics Institute in Rez (Czech Republic). The Proton Beam Writing (PBW) technique was used to irradiate PMMA resist with energy of MeVs protons. The fabricated patterns were developed in chemical bath using different etching rates. An overview of micro-scale structures have been fabricated selecting the beam, the energy, the fluence and the exposition time. The produced structures were investigated by different analysis techniques among which Scanning Transmission Ion Microscopy (STIM). The characterizations of the fabricated microtunnels are presented and discussed. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
Ion sources (positive ions, negative ions, electron cyclotron resonance (ECR), electron beam (EBIS));Accelerator Subsystems and Technologies;Accelerator Applications |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/1748-0221/11/05/C05001 |
| DOI výsledku |
https://doi.org/10.1088/1748-0221/11/05/C05001 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |