Identifikační kód |
RIV/00216305:26210/03:PU48391 |
Název v původním jazyce | Měření povrchů holografickým konfokálním mikroskopem |
Název v anglickém jazyce |
Surface Measurement by a Holographic Confocal Microscope |
Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
Poddruh |
- |
Jazyk |
cze - čeština |
Obor - skupina |
B - Fyzika a matematika |
Obor |
BH - Optika, masery a lasery |
Rok uplatnění |
2003 |
Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
Počet výskytů výsledku |
3 |
Počet tvůrců celkem |
4 |
Počet domácích tvůrců |
4 |
Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Irena Antošová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 6099424) Zdeněk Harna (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5919290) Radim Chmelík (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7840403) Luděk Lovicar (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2773511) |
Popis výsledku v původním jazyce | Holografický konfokální mikroskop zobrazuje na principu nekoherentní holografie v reálném čase, takže kromě obrazové amplitudy je přirozeně rekonstruována také obrazová fáze. V tomto článku ukazujeme teoreticky i experimentálně, že při pozorování povrchůlze jejich fázová zob-razení převádět na výškové mapy a to s přesností několika nanometrů. Nejednoznačnost fázového skoku, která vzniká v oblastech velkých výškových skoků, je odstraněna méně přesným, ale zato jednoznačným měřením dané oblasti pomocí inntenzitního zobrazení v holografickém kon-fokálním mikroskopu, které je hloubkově diskriminováno. Potřebné osové rozlišovací schopnosti je přitom dosaženo použitím spektrálně širokopásmového osvětlení. |
Popis výsledku v anglickém jazyce |
Imaging by a holographic confocal microscope is based on the principle of a real-time incoherent holography. For this reason, the image phase is inherently reconstructed in addition to the image intensity. In this paper, we prove both theoretically and experimentally that the phase images of surfaces can be converted into their height maps with precision of several nanometers. Ambiguity of the phase jump, which appears in the regions of great jumps of height, was removed by a less precise, but non-ambigguous measurement of the region by an intensity image component, which is depth-discriminated in the holographic confocal microscope. The necessary axial resolution was achieved by the use of a spectrally broadband illumination. |
Klíčová slova oddělená středníkem |
low-coherence interference microscopy, holographic microscopy, confocal microscopy, optical sectioning |
Stránka www, na které se nachází výsledek |
- |
Odkaz na údaje z výzkumu |
- |