| Identifikační kód |
RIV/00216224:14740/16:00087663 |
| Název v anglickém jazyce |
Simultaneous determination of optical constants, local thickness and roughness of ZnSe thin films by imaging spectroscopic reflectometry |
| Druh |
J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh |
- |
| Jazyk |
eng - angličtina |
| Obor - skupina |
B - Fyzika a matematika |
| Obor |
BH - Optika, masery a lasery |
| Rok uplatnění |
2016 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
4 |
| Počet tvůrců celkem |
5 |
| Počet domácích tvůrců |
3 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Daniel Franta (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9412921)
David Nečas (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5870879)
Ivan Ohlídal (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2026384)
M. Ohlidal (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
J. Vodak (státní příslušnost: CZ - Česká republika) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
A rough non-uniform ZnSe thin film on a GaAs substrate is optically characterised using imaging spectroscopic reflectometry (ISR) in the visible, UV and near IR region, applied as a standalone technique. A global-local data processing algorithm is used to fit spectra from all pixels together and simultaneously determine maps of the local film thickness, roughness and overlayer thickness as well as spectral dependencies of film optical constants determined for the sample as a whole. The roughness of the film upper boundary is modelled using scalar diffraction theory (SDT), for which an improved calculation method is developed to process the large quantities of experimental data produced by ISR efficiently. This method avoids expensive operations by expressing the series obtained from SDT using a double recurrence relation and it is shown that it essentially eliminates the necessity for any speed-precision trade-offs in the SDT calculations. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
thin films;roughness;scalar diffraction theory;spectrophotometry;imaging techniques;zinc selenide;reflectometry |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
http://iopscience.iop.org/article/10.1088/2040-8978/18/1/015401/meta |
| DOI výsledku |
10.1088/2040-8978/18/1/015401 |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |