Zpět na hledání
| Identifikační kód | RIV/00216224:14310/20:00114444 |
|---|---|
| Název v anglickém jazyce | Determining shape of thickness non-uniformity using variable-angle spectroscopic ellipsometry |
| Druh | J - Recenzovaný odborný článek (Jimp, Jsc a Jost) |
| Poddruh | J/A - Článek v odborném periodiku je obsažen v databázi Web of Science společností Thomson Reuters s příznakem „Article“, „Review“ nebo „Letter“ (Jimp) |
| Jazyk | eng - angličtina |
| Vědní obor | 10306 - Optics (including laser optics and quantum optics) |
| Rok uplatnění | 2020 |
| Kód důvěrnosti údajů | S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku | 3 |
| Počet tvůrců celkem | 10 |
| Počet domácích tvůrců | 7 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců | Vilma Buršíková (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 5823803) Martin Čermák (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 3415333, orcid: 0000-0002-2181-2601, researcherid: S-5442-2018) Daniel Franta (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9412921, orcid: 0000-0001-5699-062X, researcherid: A-4247-2008) Vojtěch Homola (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2006154) Ivan Ohlídal (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 2026384) Veronika Šklíbová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 4152872) Jiří Vohánka (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7164327) Miloslav Ohlídal (státní příslušnost: CZ - Česká republika, vedidk: 2794187) Václav Šulc (státní příslušnost: CZ - Česká republika, vedidk: 8052707) Štěpán Šustek (státní příslušnost: CZ - Česká republika, vedidk: 7943872) |
| Popis výsledku v anglickém jazyce | The effects of thickness non-uniformity on measured optical quantities must be often considered in the optical characterization. The effects of thickness non-uniformity can be taken into account by averaging the Mueller matrices over the distribution of local thicknesses within the measured area. The distribution of local thicknesses can be assumed in a certain form (e.g. the uniform distribution), or it can be derived on the basis of a model assuming a certain shape of thickness non-uniformity. The latter approach is especially useful for the variable-angle spectroscopic ellipsometry since it can take into account dependence on the incidence angle due to the changes in the size of the light spot. This paper presents results of the optical characterization of three polymer-like thin films highly non-uniform in thickness using variable-angle spectroscopic ellipsometry. The shapes of the thickness non-uniform films are determined on the basis of a model assuming local thicknesses given by quadratic polynomials in coordinates along the surfaces of the films. The studied areas on the films were also measured by the imaging spectroscopic reflectometry, which provides a more direct method to determine local thicknesses. The results achieved using the imaging spectroscopic reflectometry and variable-angle spectroscopic ellipsometry were then compared. |
| Klíčová slova oddělená středníkem | Thickness non-uniformity;Ellipsometry;Imaging spectroscopic reflectometry |
| Stránka www, na které se nachází výsledek | https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.147625 |
| DOI výsledku | 10.1016/j.apsusc.2020.147625 |
| Odkaz na údaje z výzkumu | - |
Údaje o výsledku v závislosti na druhu výsledku
| Název periodika | Applied Surface Science |
|---|---|
| ISSN | 0169-4332 |
| e-ISSN | - |
| Svazek periodika | 534 |
| Číslo periodika v rámci uvedeného svazku | December 2020 |
| Stát vydavatele periodika | NL - Nizozemsko |
| Počet stran výsledku | 10 |
| Strana od-do | 1-10 |
| Kód UT WoS článku podle Web of Science | 000582367700057 |
| EID výsledku v databázi Scopus | 2-s2.0-85089942862 |
| Způsob publikování výsledku | C - Omezený přístup (Restricted Access) |
| Předpokládaný termín zveřejnění plného textu výsledku | - |
Ostatní informace o výsledku
| Předkladatel | Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta |
|---|---|
| Dodavatel | MSM - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy (MŠMT) |
| Rok sběru | 2021 |
| Specifikace | RIV/00216224:14310/20:00114444!RIV21-MSM-14310___ |
| Datum poslední aktualizace výsledku | 19.05.2021 |
| Kontrolní číslo | 192309255 ( v1.0 ) |
Informace o dalších výskytech výsledku dodaného stejným předkladatelem
| Dodáno GA ČR v roce 2021 | RIV/00216224:14310/20:00114444 v dodávce dat RIV21-GA0-14310___/01:1 |
|---|
Informace o dalších výskytech výsledku dodaného ostatními předkladateli
| Dodáno MŠMT v roce 2021 | RIV/00216305:26210/20:PU138302 v dodávce dat RIV21-MSM-26210___/02:1 předkladatelem Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství |
|---|
Odkazy na výzkumné aktivity, při jejichž řešení výsledek vznikl
| Projekt podporovaný GA ČR v programu GA | GA19-15240S - Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu (2019 - 2021) |
|---|---|
| Projekt podporovaný MŠMT v programu LM | LM2018097 - Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav (2019 - 2022) |