| Identifikační kód |
RIV/68081731:_____/07:00095347 |
| Název v původním jazyce | Mnohakanálový detektor pomalých zpětně odražených elektronů |
|---|
| Název v anglickém jazyce |
Multichannel detector of low energy backscattered electrons |
| Druh |
S - Specializovaná veřejná databáze (Sdb) |
| Poddruh |
S/A - Prototyp, uplatněná metodika, funkční vzorek, autorizovaný software, výsledky aplikovaného výzkumu promítnuté do právních předpisů a norem, užitný vzor (do r. 2014) (Sa) |
| Jazyk |
cze - čeština |
| Obor - skupina |
J - Průmysl |
| Obor |
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika |
| Rok uplatnění |
2007 |
| Kód důvěrnosti údajů |
S - Úplné a pravdivé údaje o výsledku nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů. |
| Počet výskytů výsledku |
1 |
| Počet tvůrců celkem |
3 |
| Počet domácích tvůrců |
3 |
| Výčet všech uvedených jednotlivých tvůrců |
Pavel Klein (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7482035)
Ivo Konvalina (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 9612653)
Ilona Müllerová (státní příslušnost: CZ - Česká republika, domácí tvůrce: A, vedidk: 7708017) |
| Popis výsledku v původním jazyce | Byl navržen, zkonstruován, vyroben a vyzkoušen paralelní osmikanálový detektor úhlového rozložení pomalých, zpětně odražených elektronů se zesilovačem na bázi kanálkové destičky pro rastrovací elektronový mikroskop. Detektor je schopen zachytit elektronyodražené s polárním úhlem emise až do 90deg s energií od několika set eV do několika desítek keV. Systém využívá principu katodové čočky a proto je možné plynule měnit jak energii dopadajících elektronů tak úhlové rozložení emitovaných elektronů ze vzorku. Experimenty potvrdily úhlovou selektivitu kontrastu krystalické struktury. |
|---|
| Popis výsledku v anglickém jazyce |
Parallel eight channels detector of the angular distribution of low energy backscattered electrons, based on the amplifier formed by the multi-channel-plate detector was design and tested in the scanning electron microscope. Detector is able to collect backscattered electrons with the polar angle of the emission up to 90deg, with the energy from several hundred eV up to several tens of keV. The system is using a cathode lens principle; therefore it is possible to fluently control not only the landing energy of primary electrons but even the angular distribution of the emitted electrons from the specimen. The experiments confirmed the angular sensitivity of the crystallographic contrast. |
| Klíčová slova oddělená středníkem |
multi-channel-plate detector; basckscattered electrons; low energy electrons; scanning electron microscope |
| Stránka www, na které se nachází výsledek |
- |
| Odkaz na údaje z výzkumu |
- |