Informační systém výzkumu,
vývoje a inovací

Centrální evidence projektů

Jednoduché vyhledávání

Zpět na hledáníFI-IM2/131 - *Výzkum a vývoj pokročilé křemíkové desky pro sub-mikronové technologie. (2005-2007, MPO/FI)

Identifikační kód FI-IM2/131
Důvěrnost údajů C - Předmět obchodního tajemství podle par.17-20 obch.zákoníku, název, anotace, příp. zhodnocení výsledků řešení dodané do IS VaV jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
Název projektu v původním jazyce *Výzkum a vývoj pokročilé křemíkové desky pro sub-mikronové technologie.
Název projektu anglicky *Research and development of advanced silicon wafer for sub-micron technologies.
Poskytovatel MPO - Ministerstvo průmyslu a obchodu (MPO)
Program FI - IMPULS  (2004 - 2010)
Kategorie VaV VV - Experimentální vývoj
Hlavní obor - skupina J - Průmysl
Hlavní obor JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Vedlejší obor BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Další vedlejší obor -
Zahájení řešení 01.03.2005
Ukončení řešení 31.12.2007
Datum posledního uvolnění účelové podpory 23.05.2007
Číslo smlouvy FI-IM2/131
Poslední stav řešení U - Ukončený (rok ukončení projektu < rok sběru dat, v roce sběru dat již není financován ze SR)
tis. Kč **
Finance projektu
200520062007celkem
Výše podpory z národních zdrojů1 113 000,0011131 070 000,0010701 162 000,0011623 345 000,003345
Výše podpory z veřej. zahraničních zdrojů ***0,0000,0000,0000,000
Neveřejné tuzem. a zahr. zdroje financování---8 323 000,008323
Celkové uznané náklady3 882 000,0038823 955 000,0039553 831 000,00383111 668 000,0011668
Typčerpanéčerpanéčerpané

** Finance v tisících Kč jsou automaticky zaokrouhleny z částky v jednotkách Kč s přesností na 2 desetinná místa
*** Výše podpory z veřejných zahraničních zdrojů je sledována od období sběru 2020

Zobrazit skutečně čerpané finance projektu z národních zdrojů »

Druh soutěže VS - Veřejná soutěž
Veřejná soutěž ve výzkumu, vývoji a inovacích SMPO200500009 - Veřejná soutěž (MPO/FI)
Cíle řešení v původním jazyce *Výzkum a vývoj technologie výroby pokročilé leštěné desky pro high-tech sub-mikronové technologie výroby integrovaných obvodů. Pro dosažení daných cílů vývoje pokročilé desky bude v procesu Czochralskiho tažení monokrystalů křemíku instalována nová topná zóna průměru 450 mm a sníží se rozdíl mezi úrovní technologie výroby monokrystalů křemíku v ČR a u vedoucích firem v oboru.
Cíle řešení v anglickém jazyce *The development of advanced silicon wafer technology for production of high-tech integrated circuits with sub-micron detail. In order to reach these goals, we are going to install a new hot zone with diameter 450 mm for Czochralski pulling of silicon single crystals which will reduce the gap between technology level of Czech silicon single crystal manufacturer and world leading producers.
Klíčová slova v anglickém jazyce advanced silicon wafer; crystal growth; Czochralski; FEMAG; integrated circuits; semiconductor; silicon; silicon wafer
Kontrolní číslo stavu projektu v letech 2005: 1644941
2006: 33544386
2007: 2397768
2008: 167775234
Datum dodání posledního záznamu o projektu 01.04.2009
Systémové označení dodávky dat CEP08-MPO-FI-U/02:2

Účastníci projektu

Počet příjemců 0
Počet dalších účastníků projektu 1
Další účastník projektu ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.

tis. Kč **
Finance účastníků projektuPoznámka: Finance účastníků projektu jsou sledovány od roku 2007, investiční prostředky od roku 2013, prostředky ze zahraničních zdrojů od roku 2020

Celkové uznané náklady200520062007
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.0,0000,0003 831 000,003831
Výše podpory z národních zdrojů200520062007
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.0,0000,0001 162 000,001162
Výše podpory z veřejných zahraničních zdrojů200520062007
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.0,0000,0000,000
Investiční prostředky z podpory ze státního rozpočtu na účastníka v daném roce200520062007
ON SEMICONDUCTOR CZECH REPUBLIC, s.r.o.0,0000,0000,000

** Finance v tisících Kč jsou automaticky zaokrouhleny z částky v jednotkách Kč s přesností na 2 desetinná místa

Zobrazit skutečně čerpané prostředky z národních zdrojů na účastníka »

Výsledky projektu v RIV

Počet výsledků projektu v RIV celkem 11
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/05:#0000002 - Silicon Wafer Gettering Ability Studied by Method of Controlled Contamination (2005)
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/06:#0000001 - Development of hot zones for Czochralski pulling (2006)
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/06:#0000006 - Advanced Silicon Wafer Manufacturing for Sub-Micron Technologies (2006)
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/06:#0000007 - Gettering capability and structure of polycrystalline silicon layers (2006)
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/06:#0000008 - Simulations of transient effects during CZ silicon growth (2006)
Výsledek druhu D RIV/26821532:_____/06:#0000009 - Počítačová simulace Czochralskiho růstu krystalů křemíku (2006)
Výsledek druhu J RIV/26821532:_____/07:#0000004 - OISF Pattern and Grown-in Precipitates in Heavily Boron Doped Silicon (2007)
Výsledek druhu J RIV/26821532:_____/07:#0000005 - Limits of the copper decoration technique for delineating of the V-I boundary (2007)
Výsledek druhu J RIV/26821532:_____/08:#0000003 - Enhanced Oxygen Precipitation during the Czochralski Crystal Growth (2008)
Výsledek druhu S RIV/26821532:_____/08:#0000012 - Pokročilá křemíková deska (2008)
Výsledek druhu S RIV/26821532:_____/08:#0000014 - Design 18" topné zóny (2008)

Hodnocení dokončeného projektu

Hodnocení výsledků U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků řešení česky Vyvinuta technologie výroby pokročilé křemíkové desky (ASiW) průměru 150 mm pro sub-mikronové aplikace. Zhotoveny prototypy ASiW a vzorky desek průměru 200 mm. S pomocí CAD nástrojů (simulace) vyvinut proces růstu krystalů v 18" topné zóně.
Vyhledávání ...